目前對潔凈室等級劃分最常用的是美國聯(lián)邦FS 209E標準 。常說的100級潔凈室說的就是指在1立方英尺的空間內(nèi),大于等于0.5微米的粒子必須不多于100個,10級就是1立方英尺的空間,0.5微米的粒子必須不多于10個,1000級則不能多于1000個。
一般來說,1級潔凈室主要用于制造大規(guī)模集成電路的微電子工業(yè);10級的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導體行業(yè);100級是最常用的潔凈室,可用于醫(yī)藥中的無菌制造工藝、外科手術(shù)、人造內(nèi)臟器官和集成電路生產(chǎn);1000級主要用于光學產(chǎn)品和高質(zhì)量微型軸承的生產(chǎn),以及飛機陀螺儀的測試;10000級用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的生產(chǎn),有些情況下也用于食品飲料的生產(chǎn);100000級用于很多工業(yè)部門生產(chǎn)部門,食品飲料和醫(yī)藥行業(yè)也常常使用這一級潔凈室。