靜電在工業(yè)生產(chǎn)中造成的危害主要可歸結(jié)為以下兩種機(jī)理:
其一:靜電放電(ESD)造成的危害:
?。?)引起電子設(shè)備的故障或誤動(dòng)作,造成電磁干擾。
?。?)擊穿集成電路和精密的電子元件,或者促使元件老化,降低生產(chǎn)成品率。
?。?)高壓靜電放電造成電擊,危及人身安全。
?。?)在多易燃易爆品或粉塵、油霧的生產(chǎn)場所極易引起爆炸和火災(zāi)。
其二,靜電吸引力(ESA)造成的危害:
?。?)電子工業(yè):吸附灰塵,造成集成電路和半導(dǎo)體元件的污染,大大降低成品率。
(2)膠片和塑料工業(yè):使膠片或薄膜收卷不齊;膠片、CD塑盤沾染灰塵,影響品質(zhì)。
?。?)造紙印刷工業(yè):紙張收卷不齊,套印不準(zhǔn),吸污嚴(yán)重,甚至紙張黏結(jié),影響生產(chǎn)。
?。?)紡織工業(yè):造成根絲飄動(dòng)、纏花斷頭、紗線糾結(jié)等危害。
?。?)塑膠噴涂:塑膠產(chǎn)品靜電高,易吸附灰塵,噴涂后影響工件的美觀和品質(zhì)。
靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業(yè)最普遍、最嚴(yán)重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或永久性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,但產(chǎn)生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產(chǎn)生的靜電放電,因此必須予以控制。